AMC (airborne molecular contamination)

Was versteht man darunter?

Die sogenannten luftgetragenen molekularen Kontaminationen (airborne molecular contamination, AMC) sind Kontaminationsquellen im Reinraum. Da sie, wie alle Kontaminationen, einen negativen Einfluss auf die Qualität, der im Reinraum produzierten Produkte haben können, müssen sie kontinuierlich überwacht werden. Besonders in der Halbleiterindustrie können AMC den mikroelektronischen Bauteilen zum Verhängnis werden und Stromkreisläufe unterbrechen.

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1. Anwendungsbeispiel aus dem Reinraum

In der DIN EN ISO 14644-8 wird die Klassifizierung der chemischen Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Substanzen beschrieben.
Außerdem stellt dieser Teil der Norm ein Protokoll zur Verfügung, um Prüfverfahren, Analysen und Zeitgewichtungsfaktoren in die Festlegung
zur Klassifizierung einzuschließen.

2. Verwendung

Diese Art der luftgetragenen molekularen Kontamination tritt zum Beispiel als Ausgasungen von Säuren, Basen, Lösemitteln oder Silikonen auf. Diese gasförmigen Verunreinigungen besitzen eine Größe zwischen 0,003 µm – 0,1 µm und sind somit um einiges kleiner als beispielsweise Staubpartikel (0,1 µm – 5,0 µm). Aus diesem Grund können AMC nicht mit klassischen Partikelzählern, die mittels Streulicht-Messmethoden arbeiten, erfasst werden. Moderne Echtzeit-Messgeräte messen auf Laserbasis.

3. Einzelnachweise

• DIN EN ISO 14644-8

• Sauberkeit und Reinraum